Cu含量对NbCN-Cu复合膜微结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响

• 作者: 喻利花 孙晨 许俊华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控溅射 NbCN-Cu复合膜 微观组织 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 377-384
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.04.01

摘要

利用高真空磁控溅射仪制备了不同Cu含量的NbCN-Cu复合膜.采用X射线光电子能谱、X射线衍射仪、纳米压痕仪、扫描电镜、三维形貌仪和摩擦磨损仪对薄膜的微观结构、力学性能以及摩擦磨损性能进行了分析.结果表明,NbCN-Cu复合膜为面心立方δ-NbN、六方δ'-NbN和单质Cu相三相共存结构.随Cu含量增加,NbCN-Cu复合膜的硬度值先缓慢上升再迅速下降,Cu含量为2.27％时,获得最大硬度,为31.43 GPa.室温下,随Cu含量的增加,NbCN-Cu复合膜的摩擦系数先缓慢上升再快速上升,磨损率先缓慢下降再快速上升.当温度从室温温度上升到500℃,不同Cu含量的NbCN-Cu的摩擦系数均先升高后降低,磨损率逐渐上升,温度一定,Cu含量越高,磨损率越高;300～500℃内,温度一定,Cu含量越高,NbCN-Cu复合膜的摩擦系数越低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
3	孙晨	江苏科技大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0