基于Al2O3封装薄膜的OLED水汽透过率测试方法及系统研究

• 作者: 张建华 张志林 张浩 李晟 段玮
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有机电致发光器件 水汽透过率 钙电学测量法 多通道测试系统 薄膜封装
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 88-93
• 页数: 6页
• 分类号: TP274|TN383+.1
• 字数: 3270字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20163701.0088

摘要

水汽透过率(WVTR)是衡量有机电致发光器件(OLED)封装薄膜性能的重要参数之一.本文研究了基于钙电学法的WVTR测试方法,设计并研制了可满足OLED水汽透过率测试精度和功能要求的测试系统,测试精度达1×10-6g·m-2·d-1,量程为10 g·m-2·d-1,可同时完成20个样品的快速、精确测量.利用本系统对采用原子层沉积技术制备的不同厚度Al2O3封装薄膜的WVTR进行了测试研究,结果表明,Al2O3薄膜具有良好的水汽阻挡性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志林	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	100	763	14.0	17.0
2	张浩	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	19	62	5.0	6.0
3	李晟	上海大学机电工程与自动化学院	8	87	4.0	8.0
7	段玮	上海大学机电工程与自动化学院	1	8	1.0	1.0