Mo含量对CrMoAlN薄膜微观结构和摩擦磨损性能的影响

• 作者: 楼白杨 王宇星
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: CrMoAlN纳米多层薄膜 磁控溅射 微观结构 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 727-733
• 页数: 7页
• 分类号: TG174
• 语种: 中文
• DOI: 10.11900/0412.1961.2015.00493

摘要

采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积多元CrMoAlN纳米多层薄膜.利用EDS,SEM,XRD,XPS,纳米压痕仪和销盘磨损试验仪研究Mo含量对CrMoAlN薄膜成分、表面和截面形貌、相结构、化学价态、显微硬度和摩擦性能的影响.结果表明,不同Mo含量的CrMoAlN薄膜均为fcc结构,Mo代替了CrAlN晶格中部分Cr或Al的位置,形成了以fcc-CrN相为基础的CrMoAlN置换固溶体.随着Mo含量提高,CrMoAlN薄膜表面颗粒尺寸明显减小,截面柱状晶结构逐渐消失.CrMoAlN薄膜的显微硬度和弹性模量随着Mo含量的增加而提高,摩擦系数和磨损率随着Mo含量的提高而降低.Mo含量为19.47％(原子分数)时,显微硬度与弹性模量均达到最大值29.70 GPa和427.53 GPa,摩擦系数和磨损率达到最小值0.271和1.2×1016 m3/(N· m).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	楼白杨		54	234	9.0	12.0
2	王宇星		7	3	1.0	1.0