微放电及其应用

• 作者: 张宇 欧阳吉庭 秦宇
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 气体放电 微放电 微等离子体 击穿特性 场致发射 帕邢曲线
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 等离子体放电及其应用专题
• 页码范围: 673-684
• 页数: 12页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.20160308006

摘要

微放电是放电通道被限制在一个很小空间区域内的气体放电,电极间隙或放电空间尺度一般为亚毫米以下量级.相比常规尺度放电,放电尺度的减小使得微放电具有很多独特性质,因而受到研究者的日益关注.一方面,微放电结构适合于微型化和平面化,可以应用于生物医学、微区电晕散热技术、微机电驱动系统、离子风机、静电流体加速器、气体传感器、离子源、液相放电加工工艺和漏电检测等诸多方面.另一方面,随着大规模集成电路、微电子工艺和微机电系统的迅速发展,电子元件的集成度越来越高,导体电极本身的尺寸和导体之间的间隙大大降低,小电压可以在微电极间隙产生很强的电场,从而造成低电压击穿,成为微电子产品、火工品和电力系统的安全危害源之一.文章对微放电的研究历史、基本原理、击穿与放电特性、稳定性进行了综述,介绍了电晕微放电、微空心阴极放电、DBD微放电、毛细管放电等不同的微放电结构,并从ESD和安全防护、力学效应、光学效应、电学效应、化学与生物医学效应5个方面对微放电近年来的应用研究进展进行了总结.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	欧阳吉庭		31	155	7.0	11.0
2	张宇		37	152	7.0	11.0
3	秦宇		1	0	0.0	0.0