PECVD技术制备多波段渐变减反膜

• 作者: 张笑 杭凌侠 黄发彬 龚勋
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: PECVD 渐变折射率 多波段 减反膜
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 248-251
• 分类号: O484.4+1
• 语种: 中文

摘要

介绍了利用傅里叶变化法设计多波段渐变减反膜的原理和方法,研究了采用该方法设计多波段减反膜时Q函数的优选流程,给出了最优Q函数.设计优化得到了在350～5000nm波段范围平均透过率大于90％的多层渐变减反膜系结构,并采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术完成了样片的制备.实验结果表明,镀制的样片在350～5000nm波段范围的平均透过率为90.55％,满足光谱特性的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杭凌侠		93	777	15.0	22.0
3	黄发彬		3	10	2.0	3.0
9	龚勋		2	8	2.0	2.0
13	张笑		1	3	1.0	1.0