基于 MEMS VOA 阵列的红外场景生成器

• 作者: 吕兴东 张金英 杨富华 杨晋玲 魏伟伟
• 来源期刊: 航空兵器
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 可变光衰减器 红外场景生成器 阵列 洛伦兹力
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 航空武器技术
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TN219|O439
• 字数: 1791字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19297/j.cnki.41-1228/tj.2016.02.007

摘要

针对动态半实物仿真系统的需求，提出了一种新颖的基于微机电系统（ MEMS ）技术的红外场景生成器。研究了可变光衰减器（ VOA ）阵列组成红外场景生成器的工作原理和器件结构，提出了新型串联双向折叠梁结构和阵列布局方案，为实现大规模阵列的红外场景生成器奠定基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨富华	中国科学院半导体研究所	49	227	9.0	14.0
2	张金英	中国科学院半导体研究所	6	9	2.0	2.0
3	吕兴东	中国科学院半导体研究所	1	0	0.0	0.0
4	魏伟伟	中国科学院半导体研究所	1	0	0.0	0.0
5	杨晋玲	中国科学院半导体研究所	1	0	0.0	0.0