原子力显微镜探针悬臂弹性常数校正技术进展

• 作者: 卜娟 屈泽华 潘晓霞
• 来源期刊: 中国测试
• 关键词: 探针悬臂 弹性常数 校正 综述
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 测试理论
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 字数: 4422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2016.03.001

摘要

利用原子力显微镜对材料表面的力学性能进行定量表征时，需要准确知道原子力显微镜探针悬臂的弹性常数，所以对弹性常数进行校正十分重要。该文综述近年来对探针悬臂弹性常数的校正方法，主要包括维度法、静态挠度法、动态挠度法。维度法对不同悬臂形状(主要针对矩形、V型)进行阐述，分析不同方法使用的数学模型与优缺点；静态挠度法不仅对方法的数学模型进行阐述，还着重介绍近年来对该方法精确度的改进研究；动态挠度法以附加质量法、Sader法与热调谐法分别阐述，比较3种方法的模型特点与先进性；最后分析常用探针适合使用的校正方法，对今后校正方法的发展提供参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屈泽华	聚合物分子工程国家重点实验室复旦大学高分子科学系	1	2	1.0	1.0
2	卜娟	聚合物分子工程国家重点实验室复旦大学高分子科学系	1	2	1.0	1.0
3	潘晓霞	聚合物分子工程国家重点实验室复旦大学高分子科学系	1	2	1.0	1.0