硅基双环谐振腔力敏传感特性实验研究

• 作者: 刘丽双 刘建华 唐军 张伟 薛晨阳
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 微环谐振腔 绝缘体上硅 力敏检测 光波导
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与开发
• 页码范围: 47-49,120
• 页数: 4页
• 分类号: TN815
• 字数: 2363字
• 语种: 中文

摘要

为研究双环谐振腔结构力敏传感特性,设计了不同半径比的基于绝缘衬底上硅的双环微腔结构.通过理论分析以及实验测试并结合有限元仿真得出:半径比为3∶1的双环结构的灵敏度为80.26 pm/MPa;而半径比为1∶1的双环结构的灵敏度高达128.87 pm/MPa,具有高的检测灵敏度,表明双环微腔敏感结构单元可应用于应力检测领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛晨阳	中北大学电子测试技术重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	张伟	中北大学电子测试技术重点实验室	53	92	5.0	6.0
5	唐军	中北大学电子测试技术重点实验室	64	114	5.0	9.0
7	刘丽双	中北大学电子测试技术重点实验室	7	10	2.0	2.0
13	刘建华	中北大学电子测试技术重点实验室	2	2	1.0	1.0