多层薄膜结构中的热应力分析

• 作者: 刘加凯
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 多层薄膜结构 热应力 温度载荷
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 994-999
• 页数: 6页
• 分类号: TN4
• 字数: 3522字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.07.008

摘要

针对当前无法分析MEMS多层薄膜结构中热应力的现状，通过修正Suhir.E提出的双金属带热应力分布理论，提出了MEMS多层薄膜结构的热应力分布模型，该模型适用于评估MEMS多层结构中热应力分布规律，同时为采取合理措施减小应力提供了理论支持。在温度载荷作用下，多层薄膜结构中将产生正应力、剪应力和剥离应力的作用，应力变化主要集中在界面端处。其中，正应力分布于各层内，随与中心点距离的增大呈指数减小，在端面处急剧减小至最小值；剪应力和剥离应力则主要分布于各层界面上，随与中心点距离的增大呈指数增大，在界面端处达到最大值。最后，开展了由四种材料（玻璃、铬、铜、镍）组成的多层薄膜结构的热力学仿真分析，验证了所建立解析模型的正确性，以及各应力在多层结构中的分布规律。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘加凯	武警工程大学装备工程学院	13	11	2.0	2.0