化学机械抛光超薄 SUS304不锈钢抛光液研究

• 作者: 刘振辉 李庆 王永胜 秦洪权 苏建修 陈佳鹏
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 304 不锈钢片 化学机械抛光 抛光液 材料去除率 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 25-28,34
• 页数: 5页
• 分类号: TG73|TG58
• 字数: 2827字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.6.0006

摘要

柔性显示已成为下一代显示技术的研究热点，不锈钢材料是柔性大尺寸显示器衬底的主要材料之一。为优化不锈钢表面的超光滑无损伤加工，采用化学机械抛光(CMP)技术，通过正交试验，研究磨料粒度尺寸、分散剂、氧化剂、磨料质量、缓蚀剂用量等因素对抛光后材料去除率和表面粗糙度的影响。试验结果表明：磨料粒度尺寸对表面粗糙度的影响最大，其次为双氧水、丙三醇、草酸、磨料质量；影响材料去除率的因素排列是磨料粒度尺寸、磨料含量、丙三醇含量、草酸含量、双氧水含量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏建修	河南科技学院机电学院	43	283	9.0	15.0
2	陈佳鹏	河南科技学院机电学院	3	8	2.0	2.0
3	刘振辉	河南科技学院机电学院	8	42	3.0	6.0
4	李庆	河南科技学院机电学院	3	13	3.0	3.0
5	秦洪权	河南理工大学机械与动力工程学院	3	13	3.0	3.0
6	王永胜	驻马店技师学院机械工程系	1	3	1.0	1.0