溶胶凝胶法制备以Al2O3为界面修饰层的铪铟锌氧薄膜晶体管

• 作者: 张建华 李喜峰 许云龙 高娅娜
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶液法 薄膜晶体管 界面修饰层Al2O3
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 50-55
• 页数: 6页
• 分类号: TN321.5
• 字数: 3098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20163701.0050

摘要

利用溶液法制备了以HfSiOx为绝缘层、HfInZnO为有源层、Al2O3为界面修饰层的TFT器件.HfSiOx薄膜经Al2O3薄膜修饰后,薄膜表面粗糙度从0.24 nm降低至0.16nm.Al2O3薄膜与HfSiOx薄膜之间的界面接触良好,以Al2 O3为界面修饰层的TFT器件整体性能得到提升,具体表现为:栅极电压正向和反向扫描过程中产生的阈值电压漂移显著减小,器件的阈值电压和亚阈值摆幅降低,迁移率与开关比增大.研究证明,溶液法制备Al2O3薄膜适合作为改善器件性能的界面修饰层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建华	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	106	709	13.0	21.0
2	李喜峰	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	21	70	5.0	6.0
3	高娅娜	上海大学材料科学与工程学院	3	9	2.0	3.0
7	许云龙	上海大学材料科学与工程学院	1	4	1.0	1.0