Ag含量对CrN/Ag薄膜微结构、力学及摩擦磨损性能的影响

• 作者: 叶刚 喻利花 许俊华 鞠洪博
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CrN/Ag复合膜 微观结构 力学性能 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 413-417
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.04.07

摘要

通过反应磁控溅射法分别沉积了不同Ag含量(Ag/(Ag+ Cr) =2.9 ～21.2％(原子比))的CrN/Ag复合膜,采用能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、扫描电镜、摩擦磨损仪等研究了CrN/Ag复合膜的化学成份、微观结构、力学性能及摩擦磨损性能.结果表明:CrN/Ag薄膜为面心立方结构,由fcc-CrN及fcc-Ag构成.薄膜晶粒尺寸随Ag含量的升高逐渐降低.薄膜硬度随Ag含量的升高先升高后降低,当Ag含量为8.3％时,薄膜硬度最高,其最高值为23 GPa.薄膜硬度受细晶强化与软质Ag相的共同作用.CrN/Ag薄膜平均摩擦系数及磨损率随Ag含量的升高先降低后升高,当Ag含量为8.3％时,薄膜平均摩擦系数与磨损率最小,其最小值分别为0.50和0.68×10-8 mm3/N ·mm.薄膜平均摩擦系数及磨损率主要受低剪切强度Ag含量和H/E值的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
3	鞠洪博	江苏科技大学材料科学与工程学院	17	35	4.0	5.0
4	叶刚	江苏科技大学材料科学与工程学院	1	5	1.0	1.0