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摘要:
本文从系统结构、参数控制和镀膜方式等综述了真空卷绕镀膜技术研究进展.按结构可分为单室、双室和多室真空卷绕系统,后两者可解决开卷放气问题并分别控制卷绕和镀膜室各自真空度.卷绕张力控制分锥度、间接和直接控制模型,锥度控制模型可解决薄膜褶皱和径向力分布不均的问题;间接张力控制无需传感器,可用内置张力控制模块的矢量变频器代替;直接张力控制通过张力传感器精确测量张力值,但需惯性矩和角速度等多种参数.真空卷绕镀膜主要有真空蒸发、磁控溅射等方式,可用于制备新型高折射率薄膜、石墨烯等纳米材料和柔性太阳能电池等半导体器件.针对真空卷绕镀膜技术研究现状及向产业化过渡存在的问题,最后作了简要分析与展望.
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内容分析
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文献信息
篇名 真空卷绕镀膜技术研究进展
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 真空卷绕镀膜 张力控制 热蒸发 磁控溅射
年,卷(期) 2016,(1) 所属期刊栏目 薄膜
研究方向 页码范围 1-7
页数 分类号 TB43
字数 语种 中文
DOI 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.01.01
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李建昌 东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心 42 214 9.0 13.0
2 邵思佳 东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心 5 2 1.0 1.0
3 杨贻谋 3 14 1.0 3.0
传播情况
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引文网络
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二级参考文献  (35)
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研究主题发展历程
节点文献
真空卷绕镀膜
张力控制
热蒸发
磁控溅射
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
出版文献量(篇)
2692
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3
总被引数(次)
12898
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