Level Set方法在Z切石英各向异性湿法刻蚀模拟中的应用

• 作者: 仇晓黎 幸研 蔡鹏鹏
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: Level Set Z切石英 湿法刻蚀 三维形貌模拟
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 7-11
• 页数: 5页
• 分类号: TN403|TN405
• 字数: 2007字
• 语种: 中文

摘要

石英是MEMS元器件的重要基底材料,其各向异性湿法刻蚀过程极为复杂.Level Set方法作为一种隐式追踪运动界面的方法,可用于追踪复杂运动界面.详细说明了Level Set方法在石英各向异性湿法刻蚀模拟中的应用过程,包括构建函数、控制方程、数值解法和重新初始化.通过Z切石英凹槽、凸台刻蚀形貌SEM图和模拟结果的对比,表明基于Level Set方法开发的石英湿法刻蚀三维形貌模拟程序是稳定有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	幸研		45	401	11.0	18.0
2	仇晓黎		36	454	11.0	21.0
3	蔡鹏鹏		1	0	0.0	0.0