RBFN优化算法在键合机标定中的应用

• 作者: 卢佳 孙海波 李维 洪喜 白虹
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 径向基函数网络 键合机 误差 修正 精度
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 封装、组装与测试
• 页码范围: 7-9,13
• 页数: 4页
• 分类号: TN762|TP183
• 字数: 2225字
• 语种: 中文

摘要

键合位置精度是衡量键合机性能的关键指标之一.为提高键合工具的键合位置精度,针对键合位置误差的非线性特点,提出一种径向基神经网络误差修正方法.以键合角度与键合点图像坐标为学习样本,以生成最小映射误差为原则调节网络权因子、基函数中心和宽度,建立具有良好泛化能力的误差逼近模型.并根据算法特点提出了一种工程优化方法,在保证算法补偿精度的基础上使得其运算时间也满足工作需要.实际工作表明:采用此种方法可将键合精度提高一个数量级,有效地改善键合位置精度并且很好地解决非线性误差对系统的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李维		18	133	6.0	11.0
2	白虹		6	93	4.0	6.0
3	洪喜		4	70	2.0	4.0
4	卢佳		5	5	2.0	2.0
5	孙海波		4	11	3.0	3.0