电子调制的激光相干粗糙度测量技术研究

• 作者: 王辉林 董元丽
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 表面粗糙度 直接调制 不确定度
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: ? 激光与光电子技术应用?
• 页码范围: 447-450
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2139字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.03.031

摘要

表面粗糙度对机械产品的使用性和可靠性有重要影响。为了实现远距离测量零件表面粗糙度，采用基于激光多普勒效应的电子直接调制激光的相干法进行了表面粗糙度测量。应用激光多普勒效应克服了工作距离的影响；使用电子直接调制提高了测量速率，降低了成本；采用相干法实现了交流锁相放大，有效控制了系统噪声。经过测量过程的统计误差控制、标定和比较可知，所设计的系统测量不确定度可达1‰。结果表明，该技术具有远距离测量且精度高的特点，对表面粗糙度的测量具有一定的指导意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉林	山东理工大学机械工程学院	41	139	7.0	9.0
2	董元丽	山东理工大学机械工程学院	2	8	1.0	2.0