提取共面微波探针S参数的方法

• 作者: 刘晨 吴爱华 孙静 梁法国 楼红英
• 来源期刊: 微波学报
• 关键词: 共面波导 微波探针 裸芯片 S参数
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文与技术报告
• 页码范围: 35-38
• 语种: 中文
• DOI: 10.14183/j.cnki.1005-6122.201602008

摘要

共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间的信号连接通道.为了获得共面微波探针完整准确的S参数,设计并实现了“两步法”测量方案,首先在同轴端口进行校准,然后在探针尖端口进行第二步校准.通过与出厂数据进行对比分析,证明了方案的可行性,同时指出在片校准件预校准的重要性.另外,讨论了氧化铝和砷化镓两种材料在片SOLT校准件对于探针S参数提取中的影响,实验显示二者相角偏差达到39.8°,回波损耗呈现规则性的变化,全部测量数据的频段覆盖1～40 GHz,最终给出了优化的测量方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁法国	中国电子科技集团公司第十三研究所	54	104	5.0	7.0
2	吴爱华	中国电子科技集团公司第十三研究所	40	63	4.0	6.0
3	刘晨	中国电子科技集团公司第十三研究所	19	21	3.0	3.0
4	孙静	中国电子科技集团公司第十三研究所	15	20	3.0	4.0
5	楼红英		4	7	2.0	2.0