PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺

• 作者: 丁桂甫 刘民 段力 王凤丹 王强 王英 邵靖 郑芳芳 高均超
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 电感耦合等离子体(ICP) 软光刻 纳米压印 叶片
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 333-339
• 分类号: TH703|TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.05.010

摘要

介绍和表征了一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)软模板的工艺方法,并实现了非平面微加工工艺的图形转移.首先采用深硅电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备了具有图形的硅片硬母版,然后用PDMS对硅片硬母版进行倒模复制,从而得到具有图形的PDMS软模板.对所制备的PDMS软模板和硅片硬母版结构的形貌、结构尺寸进行观测对比,结果显示PDMS软模板成功复制了硅片上的图形.将a-氰基丙烯酸乙酯旋涂到PDMS软模板上,然后将PDMS软模板上的图形转印到航空发动机叶片表面进行二次复制.在叶片表面得到的图形化结果为MEMS传感器的制作打下了坚实的基础.本实验提出的这种用PDMS转印的软光刻工艺可代替传统的光刻工艺,能够普遍适用于曲表面的三维结构集成制造.