微纳米压印工艺对PMMA流动填充及保真度的影响

• 作者: 刘伟 李素丽
• 来源期刊: 北华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: ANSYS 压印温度 工艺参数 微透镜阵列 压印力
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 工业技术
• 页码范围: 415-420
• 页数: 6页
• 分类号: TG494
• 字数: 4240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11713/j.issn.1009-4822.2016.03.030

摘要

采用有限元软件ANSYS进行数值分析及试验验证，研究工艺参数对PMMA流动填充和图形保真度的影响。选取3个相邻的高度不同的微透镜作为分析模型，选择四边形单元，采用映射的方式划分网格，选取模具上表面节点，施加工作压力载荷。分析微透镜阵列的整体压印效果，从是否大面积完全压印、透镜是否完全填充、透镜表面质量(粗糙度等)、缺陷(气泡、裂纹等)等指标进行考察，选出部分较优工艺参数；与较优工艺参数进行交叉比较，选出最优工艺参数；再以该组工艺参数为试验组，进行重复试验，检验工艺参数的可重复性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李素丽		48	77	4.0	7.0
2	刘伟		57	71	5.0	7.0