气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响

• 作者: 弓满锋 莫德云 马平
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 气浮平台 承载力 速度死区 耗气量
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 页码范围: 101-106
• 页数: 6页
• 分类号: TH133.2
• 字数: 2421字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2016.03.020

摘要

为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求，通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型，以承载能力、耗气量及流场“死区”速度作为性能指标，分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响。结果表明：不同的导轨结构会造成压力场特性发生变化，进而影响气膜承载力、死区速度及耗气量；3×3节流器王字型均压槽的结构形式能有效提高承载能力，消除速度死区，且耗气量未明显增加，该结构能满足长光栅刻制对气浮平台长时间工作的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马平	广东工业大学机电工程学院	63	498	13.0	19.0
2	莫德云	岭南师范学院机电工程研究所	17	10	2.0	2.0
3	弓满锋	岭南师范学院机电工程研究所	28	28	2.0	4.0