中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备类金刚石膜的结构与性能

• 作者: 代海洋 王俊玲
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石膜 沉积气压 脉冲非平衡磁控溅射技术 结构 性能
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 12-16
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.01.03

摘要

利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在载玻片上制备了类金刚石(DLC)薄膜,研究了沉积气压对薄膜厚度、微观结构、机械性能和光学性能的影响.厚度测试结果表明,DLC膜厚度随沉积气压的增加而增加.X射线光电子能谱测试结果表明,当沉积气压由0.18Pa增加到1.50Pa时,DLC薄膜中sp3杂化碳含量随沉积气压的增加而减少.纳米压痕和椭偏仪测试结果表明,DLC膜的纳米硬度、折射率均随沉积气压的增加而减小.采用浅注入模型分析了沉积气压对薄膜生长和键合结构的影响.以上结果表明,沉积气压对DLC膜的厚度、sp3杂化碳含量、机械与光学性能具有较大的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	代海洋	郑州轻工业学院物理与电子工程学院	18	36	4.0	4.0
2	王俊玲	河南交通职业技术学院交通信息工程系	4	6	2.0	2.0