浅析晶圆湿法清洗方式中常见的电气控制

• 作者: 吕麒鹏 张峰 张润 杜斌
• 来源期刊: 山西电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 计量泵 流量计 QDR 旋转甩干
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 应用实践
• 页码范围: 19-20,27
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2809字
• 语种: 中文

摘要

晶圆湿法清洗设备是半导体行业中最普遍和必须的设备,其电气控制由于环境的因素有其特殊性和专业性,清洗设备中的电气控制需要配合其清洗的特殊工艺而实现.同时清洗中具有强腐蚀性,也应该考虑电气设备的安全耐腐防护.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰		1	0	0.0	0.0
2	吕麒鹏		1	0	0.0	0.0
3	张润		1	0	0.0	0.0
4	杜斌		1	0	0.0	0.0