C含量对WAlCN复合膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响

• 作者: 叶福兴 曾伟 赵洪舰 郭磊
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 WAlCN复合膜 微结构 力学性能 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 125-129
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.02.01

摘要

采用磁控溅射物理气相沉积法沉积了不同含C量(0 ～20.7％(原子比))的WAlCN复合膜.利用X射线衍射和Raman表征了WAlCN膜的微结构;用扫描电镜、压痕仪和高温摩擦磨损仪等研究了其力学和摩擦磨损性能.结果表明:复合膜是由石墨相和面心立方的WAlN相构成,呈(200)择优生长.当WAlCN复合膜含C量增加时,它的硬度值会先升高后降低,当复合膜含C量达到11.2％时硬度出现最大值,约为37.7 GPa.加入C元素减少了WAlCN膜的摩擦系数,而其磨损率则先减小后增大.当WAlCN复合膜含C量达到20.7％时,摩擦系数值最小为0.25,此时磨损率为1.44×10-8 mm3/N·mm.总之,加入C元素后显著提高了WAlCN膜的综合性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶福兴	天津大学材料科学与工程学院	30	133	5.0	11.0
5	郭磊	天津大学材料科学与工程学院	28	329	9.0	18.0
7	曾伟	天津大学材料科学与工程学院	2	6	1.0	2.0
13	赵洪舰	天津大学材料科学与工程学院	3	2	1.0	1.0