基于MEMS的电容式传感器信号调理电路设计

• 作者: 官泳华
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电容测量 微机电系统 信号调理电路 电容阵列
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 551-557
• 页数: 7页
• 分类号: TP212|TN919.2
• 字数: 5993字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.03.011

摘要

为了提高MEMS（Micro-electro-mechanical Systems）微机电系统电容式传感器测量低电容的灵敏度，提出了一种MEMS电容式传感器调理电路，并采用绝缘硅片（SOI）MEMS电容式加速度传感器组成了完整的电容测量系统。该信号调理电路采用了一组片上电容阵列用以抵消电容结构的失配。并且采用可调的方形波发生器来调谐系统的灵敏性，以此弥补电子装置制成后产生的变化。电路采用0.18-mm CMOS技术设计并制成，测量结果显示，提出的测量系统能够准确测量到MEMS传感器的电容变化以及加速度，证明了信号调理电路的正确性和精确性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	官泳华	四川职业技术学院电子电气工程系	13	15	2.0	3.0