IGZO TFT详解

• 作者: 陶家顺
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铟镓锌氧化物薄膜晶体管 迁移率 制造工艺
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 特约综述
• 页码范围: 217-220,226
• 页数: 5页
• 分类号: TN383.+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.19453/j.cnki.1005-488x.2016.04.001

摘要

论述了IGZO TFT技术的背景、技术优势和应用.详细介绍了IGZO TFT的结构,性能和生产工艺,并对IGZO TFT生产线存在的问题和发展趋势做出了展望.