电容传感器线性度标定平台

• 作者: 倪明阳 张德福 李显凌 葛川 郭抗
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电容传感器 线性度标定 标定平台 柔度矩阵
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 143-151
• 页数: 9页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2491字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162401.0143

摘要

设计了一种电容位移传感器在线标定平台,用于位移的高精度调节和检测.该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴,故从测量原理上减小了阿贝误差.标定平台具有z/tip/tilt调节功能,保证了传感器的传感面和被测面板的被测面之间的装调对准.介绍了标定平台的组成和标定方法的原理,采用对称平行四边形机构实现了微位移调节,基于柔度矩阵法(CMM)分析了导向机构的输出柔度和行程.试验测得动平台行程为735.162 μm,和有限元法(FEM)、CMM计算结果的误差分别为7.410％和4.633％,满足行程误差要求.经过标定补偿后,传感器的线性度由0.014 21％提高至0.006 231％.实验结果显示,该线性度标定方法精度高,标定后的传感器满足位移精密调节机构使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李显凌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	18	82	5.0	8.0
2	倪明阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	14	75	5.0	8.0
3	郭抗		10	63	4.0	7.0
4	葛川	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	7	99	5.0	7.0
5	张德福	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	13	67	4.0	8.0