Si-B-C-N-H-Cl体系CVD气相产物热力学数据的计算

• 作者: 任海涛 刘家臣 郭安然
• 来源期刊: 现代技术陶瓷
• 学科: 化学
• 关键词: 硅硼碳氮陶瓷 CVD 热力学计算
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 280-289
• 页数: 10页
• 分类号: O642
• 字数: 3776字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16253/j.cnki.37-1226/tq.2016.06.005

摘要

本文采用基于量子力学的理论方法计算获得了Si–B–C–N–H–Cl 体系CVD过程中所有气相产物的热力学数据，包括分子在298.15 K~2000 K的标准摩尔热容，标准摩尔熵、标准摩尔生成焓和标准摩尔生成吉布斯自由能等，为含Si–B–C–N–H–Cl元素的任意先驱体体系反应热力学研究提供了基础数据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘家臣	天津大学先进陶瓷加工技术教育部重点实验室	65	504	15.0	19.0
2	任海涛	天津大学先进陶瓷加工技术教育部重点实验室	6	1	1.0	1.0
6	郭安然	天津大学先进陶瓷加工技术教育部重点实验室	6	6	1.0	2.0