缓冲层对Fe3O4薄膜的结构与电磁性能影响

• 作者: 张艳丽 成钢 李林
• 来源期刊: 电工材料
• 关键词: Fe3O4薄膜 缓冲层 巨磁电阻效应 电磁性能
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究·分析
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TM271
• 语种: 中文
• DOI: 10.16786/j.cnki.1671-8887.eem.2016.03.004

摘要

利用直流反应磁控溅射法制备了厚度约100 nm成分单一的Fe3O4薄膜.对薄膜样品进行XRD测试,研究了不同缓冲层对薄膜结构的影响.结果表明:Fe3O4薄膜沉积在缓冲层上时,薄膜的各衍射峰与Fe3O4的尖晶石结构的衍射峰相似,以(311)峰为主峰;对薄膜表面的AFM测试结果表明引入缓冲层使得薄膜晶粒分布均匀,表面平整度较好,且可以有效地降低薄膜表面粗糙度,在La2/3Ca1/3MnO3上沉积时均方根粗糙度最小(RMS=1.47 nm);通过对Fe3O4薄膜磁电阻效应的测试,发现引入缓冲层的Fe3O4薄膜均呈现负磁电阻效应,电阻变化率对外加磁场的灵敏度减小;由于引入缓冲层后薄膜的晶体结构发生改变,增加了磁畴壁的移动阻力,薄膜的矫顽力和剩磁提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成钢	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	49	121	5.0	9.0
5	李林	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	39	98	5.0	8.0
7	张艳丽	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	8	20	3.0	4.0