固结磨料研磨蓝宝石晶片的工艺优化

• 作者: 朱楠楠 朱永伟 沈琦 王凯 郑方志
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 亲水性固结磨料 蓝宝石晶片 研磨 去除率 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 页码范围: 11-15
• 分类号: TG58
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.1.0003

摘要

为了满足蓝宝石晶片高效低损伤的加工要求,采用亲水性固结磨料研磨垫研磨蓝宝石晶片的工艺,研究基体中碳化硅粒度尺寸、基体类型、金刚石粒度尺寸及研磨液中磨料4个因素对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化获得高加工效率和优表面质量的工艺参数.实验结果表明:基体中碳化硅粒度尺寸为10 μm、基体类型为Ⅱ、研磨垫采用F公司粒度尺寸为35～45 μm的金刚石、研磨液中磨料的粒度尺寸为5 μm的碳化硅为最优工艺组合,亲水性固结磨料研磨蓝宝石的材料去除率为431.2nm/min,表面粗糙度值为Ra0.140 2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱永伟	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	128	1288	19.0	26.0
2	王凯	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	43	136	7.0	9.0
3	朱楠楠	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	6	51	4.0	6.0
4	沈琦	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	5	60	4.0	5.0
5	郑方志	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	3	40	3.0	3.0