YBa2Cu3O7-δ超导薄膜热解过程中表面形貌的形成规律及机理探讨

• 作者: 于洁 刘志勇 白传易 蔡传兵 谷朝辉 赵苏串 郭艳群 鲁玉明
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: YBa2Cu3O7-δ热解薄膜 低温热解过程 不同表面形貌 在线观测 MOD法
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

YBa2 Cu3 O7δ(Y1BCO)超导薄膜的表面形貌对于自身的超导性能起着至关重要的作用.低温热处理过程对于最终的YBCO超导薄膜的表面形貌有非常大的影响.我们研究了升温速率和气体流量对表面形貌的共同作用,发现以下规律:在高气体流量的作用下,当升温速率较低时,薄膜出现裂纹,提高升温速率,可得到光滑薄膜,进一步提高升温速率产生褶皱,直至出现裂纹与褶皱的共存态;在低气体流量下,升温速率较低时也能获得光滑的薄膜,而高升温速率则会导致薄膜褶皱.因此获得表面平整的薄膜,升温速率和气体流量必须匹配.结合在线实时观测的方式,观察了缺陷表面的形成温度及演化过程,给出了薄膜表面形貌与热处理条件关系的解释.原子力显微镜(AFM)粗糙度的测试结果与我们的解释吻合.