论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 基础科学期刊 \
- null期刊 \
- 河北省科学院学报期刊 \
金刚石膜的六十项性状指标和百项相关成膜因素
金刚石膜的六十项性状指标和百项相关成膜因素
原文服务方：
河北省科学院学报
摘要：
为了表征金刚石膜性能的稳定性,本文给出了六十项性状指标和百项相关成膜因素、因果值A、制膜效果作为比较平台.发现沉积腔中气流有喘息、电弧转速有进动.磨耗比E值随测量过程而变.影响膜质的温度有22种.该平台为比较金刚石膜的稳定性找到了依据,不仅方便了技术交流、推动了膜品相的提高和制备技术的进步、还为标准的建立提供了方便和技术储备.
推荐文章
金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
自支撑金刚石膜
杂质
介电性能
类金刚石膜研究进展
类金刚石膜
成膜机理
结合力
摩擦性能
类金刚石膜在模具中的应用
类金刚石膜
力学性能
模具
金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
版权信息
全文
- 全文.pdf
引文网络
引文网络
二级参考文献 (22)
共引文献 (19)
参考文献 (10)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1986(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1992(2)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（1）
1993(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1994(4)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（3）
1995(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1998(3)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（2）
2000(7)
- 参考文献（2）
- 二级参考文献（5）
2001(3)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（2）
2002(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
2005(3)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（3）
2006(3)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（2）
2008(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
2009(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
2010(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
2016(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
化学气相沉积
金刚石膜
性状指标
成膜因素
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
河北省科学院学报
主办单位：
河北省科学院
出版周期：
季刊
ISSN：
1001-9383
CN：
13-1081/N
开本：
大16开
出版地：
邮发代号：
创刊时间：
1984-01-01
语种：
chi
出版文献量（篇）
1657
总下载数（次）
0
总被引数（次）
5900
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
河北省科学院学报2024
河北省科学院学报2000
河北省科学院学报2001
河北省科学院学报2002
河北省科学院学报2003
河北省科学院学报2004
河北省科学院学报2005
河北省科学院学报2006
河北省科学院学报2007
河北省科学院学报2008
河北省科学院学报2009
河北省科学院学报2010
河北省科学院学报2011
河北省科学院学报2012
河北省科学院学报2013
河北省科学院学报2014
河北省科学院学报2015
河北省科学院学报2016
河北省科学院学报2017
河北省科学院学报2018
河北省科学院学报2019
河北省科学院学报2020
河北省科学院学报2023
