金刚石膜的六十项性状指标和百项相关成膜因素

• 作者: 罗廷礼
• 来源期刊: 河北省科学院学报
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石膜 性状指标 成膜因素
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 页码范围: 9-17
• 页数: 9页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文

摘要

为了表征金刚石膜性能的稳定性,本文给出了六十项性状指标和百项相关成膜因素、因果值A、制膜效果作为比较平台.发现沉积腔中气流有喘息、电弧转速有进动.磨耗比E值随测量过程而变.影响膜质的温度有22种.该平台为比较金刚石膜的稳定性找到了依据,不仅方便了技术交流、推动了膜品相的提高和制备技术的进步、还为标准的建立提供了方便和技术储备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗廷礼		9	10	2.0	3.0