多晶硅项目设备管道化学清洗的管理技术

• 作者: 周树兴 迟学富
• 来源期刊: 有色金属设计
• 学科: 工学
• 关键词: 化学清洗 设备清洗 管道清洗 设备管理 多晶硅生产
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 冶化设备
• 页码范围: 57-60,63
• 页数: 5页
• 分类号: TG178
• 字数: 4717字
• 语种: 中文

摘要

多晶硅生产对物料管道及生产设备的清洁要求很高,要达到无水、无油、无尘.由于多晶硅生产工艺过程复杂,为保证正常生产,建设过程中物料管道、设备的清洁度尤为重要,清洗工作量大、控制点多、工作面广,在过程管控中要达到要求,确保洁净度达到预期效果,管理方法和措施是实现预期效果的有力保障.笔者根据项目实践,总结出一套行之有效的管理、检验和过程控制方法,为提高多晶硅项目设备、管道化学清洗的管理提供借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周树兴		3	1	1.0	1.0
2	迟学富		2	1	1.0	1.0