一种用于激发微波等离子体的新型矩形压缩波导仿真设计

• 作者: 周蓉 杨晓庆
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 电场强度 压缩波导 仿真
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 51-53,64
• 页数: 4页
• 分类号: TN12
• 字数: 1045字
• 语种: 中文

摘要

随着等离子工业应用的飞速发展,和向国民经济各个领域的不断深入,对等离子体反应器提出了更高的要求,而大气压微波放电技术因其特有优势,使其反应器在材料科学及微电子学的发展中得到了广泛的认可和关注.压缩波导是最为常见的等离子体反应器耦合装置之一.但是,单端口激励的压缩波导仍存在大功率微波源不易获得缺少有对微波源进行分析设计和激发场强不够高的问题,在一定程度上制约着大功率微波等离子体的进一步工业应用.针对这一问题,本文利用基于电磁场有限元方法分析微波工程问题的Ansoft HFSS仿真软件进行仿真优化,提出了一种新型的两端口压缩波导结构.仿真结果表明:在相同的输入功率条件下,两端口压缩波导中反应腔电场强度大约提高到单端口的两倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓庆		38	501	8.0	21.0
2	周蓉		14	84	5.0	9.0