原子层沉积技术及其在粉体材料上的应用进展

• 作者: 冯昊 宋珂琛 黄钰
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: 原子层沉积 粉体材料 表面改性
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 16-18,21
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

原子层沉积技术因其具有精确的沉积厚度控制、良好的保形性、均匀性等特点,已经成为一项重要的薄膜沉积技术.而粉体材料作为材料的一种重要的表现形式,其改性技术对整个材料行业都具有重大意义.原子层沉积在粉体材料特别是纳米粉体的表面改性方面也有其应用.综述了原子层沉积的原理及其在粉体材料处理方面的进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯昊		5	12	2.0	3.0
2	黄钰		1	0	0.0	0.0
3	宋珂琛		1	0	0.0	0.0