精密紫外真空光谱反射率测试系统

• 作者: 姜源 徐庶 汪龙祺
• 来源期刊: 武警工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 反射率 真空 锁相 双光补偿法
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 基础·应用
• 页码范围: 10-14
• 页数: 5页
• 分类号: TH741|TN23
• 语种: 中文

摘要

为测试小于280 mm口径光学元件在真空中的光谱反射率,构建了反射率测试系统.该系统的反射率由光源、Seya-Namioka真空可见单色仪,样品室为主要结构组成,同时采用双光补偿法消除了时间漂移,提高了相位锁定微弱信号的测量精度.该系统根据调制光信号与参考信号进行相乘的相干检测原理,采用锁相放大器,利用光学积分器,将信号平滑地输入A/D转换器.反射率测试结果表明,波长精度为0.1 nm,波长重复性0.035 nm,可以实现真空下光学元件的高精度测量.