金属互连线电迁移过程中的高温蠕变行为研究

• 作者: 崔海坡 邓登
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 蠕变 互连线 电迁移 影响规律 有限元分析 失效
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: TG457
• 字数: 1978字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2016.01.009

摘要

基于ABAQUS有限元分析软件，对金属互连线的蠕变行为进行了研究，获取了高温下的蠕变应力分布云图，并分析了不同温度、不同升温速率等参数对铝硅合金互连线蠕变行为的影响规律。结果表明：在温度载荷作用下，铝硅合金互连线的蠕变应力在互连线狭窄部位即尺寸突变的部位，呈现明显的应力集中现象；随着温度载荷的升高，互连线内部的蠕变应力值逐渐增大，且二者之间的关系近似为一条直线；在其他条件均相同的情况下，升温速率越快，互连线内部应力达到最大值所用的时间就越短，导致互连线承受高应力值的时间就越长，从而会加速部件的失效。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔海坡	上海理工大学教育部微创医疗器械工程中心	41	191	7.0	12.0
2	邓登	上海理工大学教育部微创医疗器械工程中心	5	12	2.0	3.0