石英玻璃的热辅助高效塑性域干磨削

• 作者: 姚鹏 朱洪涛 王伟 王军 黄传真
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃 塑性域磨削 热辅助磨削 磨削温度
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 83-93
• 页数: 11页
• 分类号: TQ171.731|TN305.2
• 字数: 5792字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162401.0083

摘要

为了提高大口径石英玻璃光学元件的加工效率,提出了热辅助塑性域超精密磨削石英玻璃的新方法.分析了石英玻璃的热辅助塑性域磨削机理,通过理论推导得出磨削深度对磨削区表面最高温升的影响规律.采用陶瓷结合剂立方氮化硼(CBN)砂轮对石英玻璃进行干磨削,利用磨削热改善磨削区石英玻璃的力学性能,实现了石英玻璃的高效塑性域磨削.通过磨削实验研究了不同磨削深度对石英玻璃表面粗糙度(Ra)和亚表面损伤深度的影响.实验结果表明,随着磨削深度的增加,Ra和亚表面损伤深度反而降低.当磨削深度为5 μm,大于粗磨表面的裂纹深度时,获得了Ra值为0.07 μm的光滑无裂纹的塑性域磨削表面.通过扫描电镜观察研究了砂轮的磨损机理,结果显示陶瓷结合剂CBN砂轮塑性域干磨削石英玻璃时,砂轮以磨耗磨损为主,该结果为研究新型的陶瓷结合剂CBN砂轮提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟	山东大学机械工程学院先进射流工程技术研究中心	232	1688	18.0	29.0
2	朱洪涛	山东大学机械工程学院先进射流工程技术研究中心	14	84	6.0	9.0
3	黄传真		8	46	2.0	6.0
4	王军	山东大学机械工程学院先进射流工程技术研究中心	41	403	11.0	20.0
5	姚鹏		4	12	1.0	3.0