MPCVD法玻璃上高光透率类金刚石膜的沉积

• 作者: 刘繁 周璐 孙祁 汪健华 翁俊
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体化学气相沉积 类金刚石 光透过率
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TQ164
• 字数: 745字
• 语种: 中文

摘要

本实验使用石英钟罩微波等离子体化学气相沉积装置,采用“四步沉积法”在含有Ti原子层的玻璃表面,沉积类金刚石膜.保证其他参数不变,通过沉积温度的改变来研究温度对类金刚石膜表面形貌及光透过率的影响.结果表明,提高沉积温度可减少类金刚石膜表面的团聚,提高平整度,同时,提高沉积温度可提高光透过率,当温度为650℃,光透过率为94.8％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁俊	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
2	刘繁	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	22	74	4.0	8.0
3	周璐	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	5	2	1.0	1.0
4	孙祁	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	15	42	3.0	6.0
5	汪健华	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	2	3	1.0	1.0