最大熵对迁移率谱中映像峰的影响

• 作者: 夏英杰 师巨亮 张曦 韩颖
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 化学
• 关键词: 最大熵 迁移率谱分析 映像峰 电导张量 非接触霍尔测量
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 410-414
• 分类号: O657.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.06.011

摘要

通过传统的迁移率谱分析技术获得的半导体异质结构的迁移率谱中经常存在映像峰,这些峰无实际的物理意义,却能降低真实载流子电学参数的精确度.提出一种最大熵法计算电导密度函数(迁移率谱)的优化方法,在熵达到极大值时,得到的电导密度概率分布最接近数据的真实分布,此时将实验误差对结果的影响降至最低,从而消除迁移率谱中的映像峰.在变磁场下对不同异质结构外延材料进行非接触霍尔测量,对采集的霍尔数据组分析计算结果表明:与传统的迁移率谱分析方法相比,通过此最大熵方法计算得到的迁移率谱是一条平滑定量的曲线,有效地消除了映像峰,提高了实验结果的精确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	师巨亮	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	1	1.0	1.0
2	韩颖	中国电子科技集团公司第十三研究所	13	34	2.0	5.0
3	夏英杰	中国电子科技集团公司第十三研究所	8	1	1.0	1.0
4	张曦	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	7	2.0	2.0