一种新型热导式氧气浓度测量方法

• 作者: 胡国俊 许磊 钱江蓉 陈丛
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 氧气浓度 微电子机械系统 热导
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 产品、应用与市场
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 984字
• 语种: 中文

摘要

探讨了多种氧气浓度的测量方法,基于微米尺寸悬膜电阻和热传导原理设计了一种新型的热导式氧气浓度测量方法.使用精细微机械加工的悬膜电阻,使得关键元件功耗和成本大为降低.经过仿真模拟和初步实验验证,热导式微型氧气传感器可精确检测较高的氧气浓度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡国俊		9	14	2.0	3.0
2	钱江蓉		8	15	2.0	3.0
3	陈丛		7	11	2.0	3.0
4	许磊		2	4	1.0	2.0