用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统

• 作者: 尹广玥 方晓东 游利兵
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 平板显示 准分子激光退火 低温多晶硅 光束整形 匀光
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: ? 综述与评述?
• 页码范围: 383-387
• 页数: 5页
• 分类号: TN205
• 字数: 3988字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.03.017

摘要

介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续横向固化技术在准分子激光制备低温多晶硅领域的应用。讨论了准分子激光退火光学系统的发展现状，指出了其在平板显示行业的重要意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方晓东	中国科学院安徽光学精密机械研究所	73	301	9.0	13.0
2	游利兵	中国科学院安徽光学精密机械研究所	26	135	8.0	10.0
3	尹广玥	中国科学院安徽光学精密机械研究所	7	19	3.0	4.0