一种快速鲁棒的光学表面划痕高精度检测方法

• 作者: 刘甲甲 李柏林 熊鹰 赵文川 陈少杰
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 划痕检测 曲面拟合 亚像素边缘提取 宽度测量
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: ? 光通信与光信息技术?
• 页码范围: 377-382
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.41
• 字数: 3768字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.03.016

摘要

为了提高光学零件表面划痕定位测量和宽度测量的精度，采用基于离散正交多项式曲面拟合的亚像素边缘检测与宽度测量的算法，通过对边缘点及其邻域进行曲面拟合代替了只对边缘点梯度方向进行曲线拟合，实现了亚像素边缘检测；采取感兴趣区域加速策略与基于离散正交多项式曲面方程参量快速求解方法串联进行的加速方案，大大减少处理时间；在宽度计算方面，根据划痕长度自适应分段，分别计算每段分段点之间欧氏距离并作为其宽度，比较后取最大宽度作为划痕宽度。结果表明，该算法测量精度较高且具有较强的鲁棒性，同一划痕在不同视窗下测得宽度误差均值不超过5．2％，且标准差不超过0．3；在求解曲面模型参量的时间方面，该方法计算时间约为最小二方法的7．35％，处理效率显著提高。该方法能够满足工程应用中快速、高精度的测量要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李柏林	西南交通大学机械工程学院	139	883	15.0	21.0
2	熊鹰	西南交通大学机械工程学院	19	170	9.0	12.0
3	刘甲甲	西南交通大学机械工程学院	17	204	9.0	14.0
4	赵文川	中国科学院光电技术研究所	6	47	4.0	6.0
5	陈少杰	西南交通大学机械工程学院	5	14	2.0	3.0