太阳能硅片厚度与翘曲度检测方法及振动抑制研究

• 作者: 周波 应献 徐欣 郑博文
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 厚度 翘曲度 振动 算法
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 页码范围: 7-8,11
• 页数: 3页
• 分类号: TP274
• 字数: 1979字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2016.03.003

摘要

本文设计了一种太阳能硅片厚度与翘曲度检测装置，阐述了厚度与翘曲度的检测方法，分析了检测过程中存在的问题，并通过算法优化，提出了一种可靠的解决方案。实践表明，该算法可有效地抑制振动因素，从而提高了测量精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑博文		6	7	1.0	2.0
2	周波		2	4	1.0	2.0
3	徐欣		3	1	1.0	1.0
4	应献		3	3	1.0	1.0