退火和电子辐照复合处理对ZnGeP2单晶性能的改进研究

• 作者: 何知宇 刘伟 吴嘉琪 朱世富 杨登辉 谢虎 赵北君 赵张瑞 陈宝军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnGeP2 退火 电子辐照 复合处理 红外透过率
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 页码范围: 1723-1726
• 页数: 4页
• 分类号: O77
• 字数: 2573字
• 语种: 中文

摘要

采用退火和电子辐照相结合的复合工艺方法,对ZnGeP2晶体进行生长后处理.采用傅里叶红外光谱仪(FTIR)和高阻仪(HRM)等,对经不同次序的复合工艺处理前后样品的红外透过率和电阻率进行了测试.结果表明,采用先退火后电子辐照的复合处理工艺,样品的红外透过率能得到明显的提高.