双源气溶胶辅助化学气相沉积制备AZO薄膜

• 作者: 张丽茜 柳林杰 王丽欣 王晓娟 秦秀娟
• 来源期刊: 燕山大学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 气溶胶辅助化学气相沉积法 掺杂 AZO薄膜
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 化学工程
• 页码范围: 158-164
• 页数: 7页
• 分类号: O649.1
• 字数: 3185字
• 语种: 中文

摘要

采用双源气溶胶辅助化学气相沉积法制备了Al掺杂ZnO薄膜。研究了不同的乙醇和甲醇溶液比例对AZO薄膜各种性能的影响。通过紫外?可见光吸收光谱、原子力显微镜、扫描电子显微镜和X射线衍射对薄膜性能进行表征。结果表明通过使用双源AACVD法可以获得具有明显（002）择优取向AZO薄膜，并且在15 mL乙醇和20 mL甲醇时具有最佳的结晶性能，同时具有最优的光电学性能。不同乙醇和甲醇比例下薄膜的形貌不同。