薄膜中的扩散与应力模型

• 作者: 戴钟保 林冰 王江涌 高梦滢
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 医学
• 关键词: 扩散 扩散系数 扩散致应力 应力致扩散
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 413-431
• 页数: 19页
• 分类号: R73

摘要

扩散会产生应力,而产生的或内禀的应力又会影响扩散,这在薄膜材料中表现的尤为突出。本文介绍了常见的几个扩散模型和应力模型,并通过热力学的方法推导出了应力条件下的扩散方程。随后采用有限元差分方法模拟了不同应力模型下的扩散分布。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林冰	汕头大学物理系	4	3	1.0	1.0
2	王江涌	汕头大学物理系	22	34	3.0	4.0
3	戴钟保	汕头大学物理系	2	2	1.0	1.0
4	高梦滢	汕头大学物理系	1	0	0.0	0.0