为了研究微滴碰撞基板后的沉积形态,利用流体体积(Volume of fluid ,VOF)法,建立单颗微滴与基板碰撞沉积变形的模型,对速度和接触角不同情况下的沉积过程进行数值模拟研究,分析不同速度及接触角对微滴沉积形态的影响规律。结果表明,液滴的碰撞速度与液滴最终形态无关,碰撞速度越大,液滴的最大铺展直径越大,趋于平稳所用时间越长,接触角对液滴的铺展形态影响较大,接触角越小,液滴对基板的润湿越好,液滴的铺展越明显。在模拟的基础上,利用气动式微滴喷射系统,在按需可控喷射情况下,采用高速图像拍摄系统,对微滴沉积过程进行试验研究,实验结果与模拟结果吻合较好。