193 nm准分子激光器激光整形微透镜阵列压缩模塑成型工艺参数研究

• 作者: 冷雁冰 吴博琦 孙艳军 王丽 董连和
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 193 nm准分子激光器 整形激光 微透镜阵列 压缩模塑成型工艺 形状误差
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 488-492
• 分类号: TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.04.20

摘要

为了实现193 nm准分子激光器激光整形及均匀化,制作一种微透镜阵列光学元件.本文采用L933多因子正交方法进行实验,获得3因子3水平下压缩模塑成型的微透镜阵列.通过Taylor Hobson轮廓仪测量微透镜阵列形状误差,并采用极差分析方法分析模具温度、保压压力、冷却时间3种工艺参数对形状误差的影响程度,确定微透镜阵列光学元件的最优工艺参数组合.结果表明:当模具温度为230℃,保压压力为120 Mpa,冷却时间为30 s时,微透镜的形状误差最好,值为0.5276 μm,满足193 nm准分子激光器激光整形及均匀化对微透镜阵列形状误差小、精度高等要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董连和	长春理工大学光电学院	45	151	7.0	11.0
2	孙艳军	长春理工大学光电学院	36	106	6.0	9.0
3	冷雁冰	长春理工大学光电学院	34	117	6.0	10.0
4	王丽	长春理工大学光电学院	32	34	3.0	4.0
5	吴博琦	长春理工大学光电学院	7	9	1.0	3.0