前热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微结构的影响

• 作者: 吉强民 翟耀飞 郜小勇 高会
• 来源期刊: 郑州大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 溶胶-凝胶旋涂法 前热处理温度 微结构
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 页码范围: 94-98
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13705/j.issn.1671-6841.2016026

摘要

采用溶胶-凝胶旋涂法，以醋酸锌、乙二醇甲醚和乙醇胺为反应前驱物，在不同前热处理温度下制备了ZnO纳米薄膜。采用XRD和SEM研究了前热处理温度对ZnO薄膜微结构的影响，并剖析了溶胶溶液中存在的反应和产物。单采用前热处理得不到结晶性很好的(002)择优取向的ZnO纳米薄膜。当前热处理温度为250℃时，经过400℃后热处理后ZnO薄膜的(002)择优取向性最佳。前热处理时湿膜中未完全分解的有机物在后热处理过程中的分解，以及过高的前热处理温度使得凝胶网络中的有机物剧烈脱附，对凝胶网络结构造成损伤，不利于薄膜(002)择优取向生长，前者是造成薄膜出现微米尺度均匀褶皱的根本原因。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郜小勇	郑州大学物理工程学院	52	301	10.0	14.0
2	吉强民	郑州大学物理工程学院	1	2	1.0	1.0
3	高会	郑州大学物理工程学院	4	7	2.0	2.0
4	翟耀飞	郑州大学物理工程学院	4	7	2.0	2.0