磁控溅射技术在微小颗粒表面涂层中的应用

• 作者: 李圆圆 杨静
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 微小颗粒 磁控溅射 涂层
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 6-10
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.04.02

摘要

磁控溅射颗粒表面涂层技术相对于流化床CVD工艺来说,在安全、环保、杂质含量控制方面具有较大优势.本文分析了磁控溅射颗粒涂层技术的基本原理、面临的问题与挑战,介绍了国内外磁控溅射颗粒涂层技术的发展现状,为颗粒物料表面磁控溅射涂层技术研究提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨静		29	120	6.0	10.0
2	李圆圆		12	29	3.0	5.0